Puno veci problem od toga je litografija. Kako postoji spontana i stimulirana emisija, za laser, dakle apsolutno monokromatni izvor zracenja potrebna je stimulirana emisija. No problem je u tome sto povecanjem valnog broja (tj. energije) zracenja povecava se i spontana i stimulirana emisija. No dok se stimulirana povecava linearno, spontana se povecava ^3 potenciju, pa se dogadja da se sve molekule spontano 'opuste' (relaksiraju) pa se nemogu stimulirano relaksirati i dobijemo spektar zracenja a ne liniju.
Omjer spontane i stimulirane emisije dan je omjerom
A/B = 8 pi h c (1/valna duljina)^3
gdje su pi=3.14159, h=planckova konstanta (6.626*10^-34 Js), c=brzina svijetla (3*10^8) a valna duljina (npr 0.25mikrona = 250nanometara = 250*10^-9 metara)
Dakle, omjer iznosi 6.85*10^-3, sto ima prilican utjecaj na snagu i takvi laseri su poprilicno "prljavi". Zgodno je i napomenuti da se radi o ArF 192 nm ljubicastim laserima, koji su zadnja granica. Koristeci
multiple pattering preslo se i preko limita rezanja valne duljine za 1/2, no pitanje je sto ce biti kada se dodje do par nm te kakvi ce kvantni efekti biti na tim razinama...